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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機PR200

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過氧化反應,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預處理(膜過濾灰化)。
•從電子設備到生化市場。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機物去除。
■特點
• RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
•由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。
•同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。
•等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。
•同步、自動調諧(PR200)。

從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。

型號 PR200
模式 DP模式,桶型
高頻輸出 Max300W
頻率 13.56MHz
同調方式 手動2軸同調方式
反應腔 耐熱玻璃0100x160mm
反應氣體 1系統(氧氣)流量計
控制 手動密閉閥
配管材質 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金
外形尺寸 W350xD400xH500mm
重量 約10kg
電源 AC100V15A
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